在选择
压力传感器的时候我们要考虑传感器的综合精度,而压力传感器的精度受哪些方面的影响呢?
1、偏移量误差:由于压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差;
2、灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比,该误差的产生原因在于扩散过程的变化;
3、线性误差:对压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性;
4、滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度,一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。