压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,一般普通压力传感器的输出为模拟信号,或在一段连续的时间间隔内,输出为数字信号,而通常使用的压力传感器主要是利用压电效应制造而成的,这样的传感器也称为压电传感器。
我们在选择压力传感器的时候我们要考虑他的综合精度,而哪些因素会造成压力传感器精度的误差呢?其实造成传感器误差的因素有很多,下面我们注意说四个无法避免的误差,这是传感器的初始误差。
1.线性误差
这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。
2.偏移量误差
由于压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
3.灵敏度误差
产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数,如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
4.滞后误差
在大多数情形中,压力传感器的滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度,一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。
压力传感器的这个四个误差是无法避免的,我们只能选择高精度的生产设备,利用高新技术来降低这些误差,还可以在出厂的时候进行一点的误差校准,尽最大的可能来降低误差以满足客户的需要。